엑시머 레이저
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엑시머 레이저(excimer laser)는 들뜬 상태에서는 결합하고 바닥상태에서는 흩어지는 화학종을 이용한 레이저다. 엑시머란 들뜬 상태에서는 이합체로 결합하고 바닥상태에서는 흩어지는 화학종이고 엑시플렉스란 들뜬 상태에서는 결합하고 바닥상태에서는 흩어지는 서로 다른 원자로 된 화학종이므로 엄밀히는 엑시머 레이저와 엑시플렉스 레이저를 구별하여야 하나 관용적으로 구분하지 않고 사용된다.
파장이 짧은 자외선인 엑시머 레이저는 물체나 생체조직을 태우지 않고 결합을 끊을 수 있기 때문에 라식 등의 의학이나 포토리소그래피(Photolithography)등 다양한 용도로 쓰인다.
역사
모스크바의 레데예프 물리학 연구소에서 니콜라이 바소프, V. A. Danilychev, Yu. M. Popov가 1970년에 172 nm 파장의 유도 방출을 제공하기 위해 전자 빔으로 들뜨게 한 제논 이합체 (Xe2)를 이용하여 발명하였다.
파장 결정
엑시머 레이저의 파장은 사용되는 분자에 따라 달라지며, 자외선에 보통 존재한다:
| 엑시머 | 파장 | 상대력(Relative Power) mW |
|---|---|---|
| Ar2* | 126 nm | |
| Kr2* | 146 nm | |
| F2* | 157 nm | |
| Xe2* | 172 & 175 nm | |
| ArF | 193 nm | 60 |
| KrF | 248 nm | 100 |
| XeBr | 282 nm | |
| XeCl | 308 nm | 50 |
| XeF | 351 nm | 45 |
| KrCl | 222 nm | 25 |